応用物理工学選書3■   薄膜   ■薄膜の作製構造 組成 性質 半導体薄膜 etc

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応用物理工学選書    薄膜

分子線エピタキシー法や原子層エピタキシー法などの薄膜作成法、および半導体薄膜や半導体超格子の分野に重点をおいて解説。

主な目次
1章 薄膜の作製
2章 薄膜の膜厚と構造、組成
3章 薄膜の機械的・熱的性質
4章 薄膜の電気的・磁気的性質
5章 薄膜の光学的性質
6章 半導体薄膜

発行所 培風館 1990-06-30 初版
著者 吉田貞史
300ページ A5判(約21×15cm) ハードカバー
定価3800円+税
送料は日本郵便・クリックポストでよろしければ185円です
使用感の少ない中古良本(経年変化はご容赦ください)カバー少スレ
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